Plazma tozalagich tuzilishi

Plazma tozalash vositasining tuzilishi uchta asosiy tarkibiy qismlardan iborat: boshqaruv birligi, vakuum kamerasi va vakuum pompasi. Keling, ushbu uchta komponentni muhokama qilaylik:
1. Boshqarish birligi
Xitoyda, shu jumladan import qilingan plazma tozalash vositalari to'rtta asosiy turga ega: yarim - Avtomatik, to'liq avtomatik, kompyuter - boshqariladi va LCD sensorli ekranli.
Boshqarish birligi keyingi ikkita asosiy qismga bo'linadi:
1) Elektr ta'minoti: uchta asosiy elektr ta'minoti chastotasi mavjud: 40 Xz, 13.56 MGts va 2,45 glz. 13.56 MGt quvvat manbai quvvat adapterini talab qiladi.
2) tizimni boshqarish birligi: uch tur mavjud: {{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{- avtomatik va to'liq avtomatik), kompyuter nazorati va PLCni boshqarish (LCD sensorli ekran).
2. Vakuum kamerasi:
Vakuum palatalari asosan ikkita materialdan iborat:
1) zanglamaydigan po'latdan tashqari vakuum kamerasi.
2) Kvarts kamerasi.
3. Vakuum nasos:
Vakuum nasoslari ikki turga bo'linadi:
1) quruq nasos.
2) neft nasosi.