Plazma etcher nima?

Plazma etcher - bu aniq ishlov berish uchun plazma texnologiyasidan foydalangan qurilma. Plazma - bu kuchli kimyoviy reaktivlik va qayta ishlash imkoniyatlari bo'lgan energiya zarralari yuqori bo'lgan gaz. Plazma etcherlari ushbu xususiyatlardan aniq foydalanish yoki mikro {{{{3} {{{3} {- {- {{- {{- {{- {{-} {{{{-}}} va mikrosferentsiyalarni yaratish uchun ishlatiladi.